[多选题]关于化学气相沉积的特点,叙述正确的是(     )tl7答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
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可沉积各种晶态或非晶态薄膜材料tl7答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
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沉积层与基体结合力强,沉积层致密,气孔少tl7答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
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均镀性好,可在复杂形状的基体上镀制tl7答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
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反应温度较高,能耗大,限制了其应用